激光清洗的过程是基于激光器产生的光脉冲的性质，在于由高强度的光束、短脉冲激光及污染层之间的相互作用所产生的光物理反应。

 物理原理：

1.     激光器发射的光粒子被需处理基材表面上的污染层吸收

2.     快速吸收超大能量导致了等离子体的急剧膨胀（高度电离的不稳定气体），产生冲击波

3.     冲击波把污染物震碎并清除

4.     光脉冲宽度很短，可以避免基材达到破坏程度的热累积

5.     实验表明当金属表面上有氧化物的时候等离子体会产生于金属表面。

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